수행한 작업
이중인터락, chemical, DIW, Air gas monitoring
PLC Program 연동. Touch Parameter interlock Setting
Alarm 추가. 품질불량 예방
작업 결과
이중알람 설치. 품질불량
현장 사진
2024.12 - 2024.12
AL Spin Etcher Flow Meter 개조개선
배관개조없이 flowemeter 개조개선, chemical, DIW, Air gas monitoring 및 interlock 추가로 품질불량 예방.
모델명과 현재 증상부터 알려주세요.
장비·제어기 모델, 발생하는 문제와 희망 일정을 보내주시면 검토 가능한 작업 범위와 필요한 자료를 안내합니다.