Project archive
작업으로 설명하는 기술 역량
현장의 문제와 수행한 작업을 프로젝트별로 확인하세요.
2024.12 - 2024.12
AL Spin Etcher Flow Meter 개조개선
배관개조없이 flowemeter 개조개선, chemical, DIW, Air gas monitoring 및 interlock 추가로 품질불량 예방.
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2026.08
EMS Monitoring System 구축(SCADA Sub장비 Monitoring System 개발)
CVD Main 장비와 연동되지 않는 부대설비의 온도·압력·Level·Leak 등 주요 상태를 통합 Monitoring하기 위해 설비별 맞춤형 Controller를 제작·설치하고, 실시간 감시 및 데이터 이력관리 시스템을 구축하였습니다.
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2026.04
LOAD LOCK EXHASUT CONTROLLER 주문제작
Load Lock 내부에는 진공 상태와 목표 진공 도달 여부를 확인하기 위한 MKS Series 907 진공 게이지가 설치되어 있습니다. 기존에는 이 게이지의 신호를 설비에 전달하여 Pump ON/OFF 상태 및 일정 수준까지의 진공 형성 여부를 확인하는 용도로 사용했습니다. 이번 프로젝트는 기존 MKS 진공 게이지와 신규 압력센서를 함께 활용해 Load Lock의 Vacuum/Vent 상태를 보다 명확하게 판별하고, Vent 완료 후 내부 잔류가스를 안전하게 배출할 수 있도록 배기 밸브 제어 시스템을 추가하는 개선 작업입니다.
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2025.08 - 2025.09
Chemical Center Supply system Monitoring SCADA
Chemical Supply system. 약품 중앙 공급장치 모니터링 시스템 구축. SCADA Cimon.
작업 내용 보기 →모델명과 현재 증상부터 알려주세요.
장비·제어기 모델, 발생하는 문제와 희망 일정을 보내주시면 검토 가능한 작업 범위와 필요한 자료를 안내합니다.