
수행한 작업
프로젝트 개요
Onsemi SAT chemical Etching 장비에 Local 약품공급장치 납품
Local 공급장치. 전장작업 및 Software Program
주요 기능
• 온도 Control
• SC1 농도 Control 공급
• Data Backup
Tank1 Chemical#1
온도 Control, Supply
Tank2 Chemical#2
NH4OH, H2O2, DIW. HORIBA 농도계. SC1 농도 Control Sub 공급. 온도 Control, SAT 연동.
작업 결과
LCSS 장치. Blending Chemical Supply system. HORIBA 농도계




