수행한 작업
장비 Gate와 연동한 전면 Sliding door 설치함.
Loadlock(Gate) open시 Door Open으로 인하여 외부 공기 유입으로 인하여 품질불량 발생
양쪽 발판으로 opne/close 되며, 일정시간 open시에 자동으로 sliding door close됨.
Door는 Actuator 설치로 400mm open. 속도는 자동차 창문 정도의 4초 수준으로 동작됨.
Loadlock open되었을 시엔 door open불가.
Sliding Door close동작중 Area sensor감지 시 open됨...
작업 결과
PARTICLE 개선
현장 사진
