수행한 작업
##현장 문제
기존 설비는 MKS Series 907을 이용해 Load Lock의 진공 상태를 확인할 수 있었지만, 다음과 같은 한계가 있었습니다.
MKS의 기존 설정값 접점은 목표 진공 도달 여부 확인에 사용되고 있었음
진공이 해제되었다는 것만으로 대기압 부근의 Vent 완료 상태를 정확하게 판단하기 어려움
Vent 후 Load Lock 내부에 남을 수 있는 잔류가스를 별도로 배출하는 기능이 부족함
Pumping 계통과 신규 배기 계통이 동시에 열릴 경우 진공 성능 저하, 외기 유입 또는 배기계통 역류가 발생할 가능성이 있음
센서 고장이나 전원 단선 상태를 정상 Vent 상태로 잘못 판단할 위험이 있음
밸브 출력 명령만으로는 실제 밸브가 완전히 닫혔는지 확인하기 어려움
수행 작업
1. MKS Series 907 매뉴얼 및 D-sub Pin 기능 검토
2. 기존 MKS 접점의 실제 사용 상태 확인
3. MKS NO/NC 접점 동작 논리 분석
4. 신규 PSAN 압력 게이지 선정 및 설치 검토
5. Vacuum/Vent 상태 판정 로직 설계
6. Pumping Valve와 배기 밸브 상호 인터록 구성
7. 중간 릴레이, 서지보호 및 Fail-safe 회로 적용
8. 센서 불일치 및 타임아웃 Alarm 설계
9. 배기 밸브 설치와 배기계통 연결
10. 정상·비정상 조건별 시운전 및 결과 기록
기대 효과
본 개선을 통해 다음과 같은 효과를 기대할 수 있습니다.
Load Lock의 Vacuum/Vent 상태 판별 신뢰성 향상
Vent 완료 전 배기 밸브 오동작 방지
Pumping과 배기의 동시 동작 방지
잔류가스의 안전한 배출
센서 또는 밸브 이상 조기 검출
작업자 노출 및 배기계통 역류 위험 감소
고장 원인 분석과 유지보수 편의성 향상
정상·비정상 운전 이력의 체계적인 관리
현장 사진
